電真空器件的氣密性檢測時(shí)的注意事項(xiàng)
電真空器件的氣密性檢測時(shí)會(huì)受到很多因素的影響，本文論述了溫度、臨時(shí)密封材料(酒精、真空封泥、橡膠件)和設(shè)備材料吸附等因素會(huì)帶來的電真空器件的氣密性檢測的測量誤差。
1、溫度
環(huán)境溫度對漏孔的漏率有很大的影響，工件溫度與室內(nèi)溫度一致時(shí)進(jìn)行檢漏效果最佳。溫度對于漏孔幾何尺寸和氣體特性的影響都將改變漏率大小。漏孔通道的幾何尺寸會(huì)隨溫度變化，同一個(gè)漏孔在不同的溫度下，其漏率值是不一樣的。按國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 12604.7-1995 規(guī)定，標(biāo)準(zhǔn)漏率的溫度是25 ℃，否則，真空技術(shù)網(wǎng)(http://m.203scouts.com/)認(rèn)為就應(yīng)該對漏率值作相應(yīng)修正，公式如下：
Q=Q1T/T1 (12)
式中：T 是標(biāo)準(zhǔn)漏率規(guī)定的溫度(25 ℃所對應(yīng)熱力學(xué)溫度)，T1 是被檢件的實(shí)際檢測熱力學(xué)溫度，Q 是被檢件的標(biāo)準(zhǔn)漏率，Q1 是被檢件在T1 時(shí)的漏率。
2、臨時(shí)密封污染
被檢件與輔助模具、檢漏儀連接處，一般采用真空橡膠墊、橡膠圈、橡膠管、橡膠塞、酒精、真空封泥等進(jìn)行密封處理。檢漏過程中，零部件需要多次與真空封泥接觸。真空封泥雖然可以被汽油溶解，但仍會(huì)有少量封泥進(jìn)入被檢件，如密封狹小腔體，不易發(fā)現(xiàn)和取出，成為潛在放氣源，嚴(yán)重影響電真空器件的性能。酒精、汽油在高溫下分解成CO2、CO、CH4、H2 和水蒸汽，其化合生成的有機(jī)物也是污染源。因此，檢漏完畢后一定要徹底檢查清理被檢件。
3、材料的吸附
真空管道、閥門、橡膠密封件屬于吸氣材料，使用時(shí)間越長，氦氣等雜質(zhì)氣體吸附越多，檢漏時(shí)被吸入質(zhì)譜室會(huì)產(chǎn)生表面沉積物等污染，導(dǎo)致氦本底過高，儀器不穩(wěn)定，達(dá)不到檢漏精度要求易造成漏檢。因此，需經(jīng)常進(jìn)行除氦處理，清洗質(zhì)譜室表面。
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3、電真空器件的常用檢漏方法
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4、電真空器件的氣密性檢測時(shí)的注意事項(xiàng)
